微電子凈化潔凈工程
來東凈化作為國內(nèi)芯片和液晶面板廠家的潔凈室的供應(yīng)商，為這些行業(yè)提供符合潔凈要求、高效率、低耗能、低噪音的空氣凈化產(chǎn)品。除了在半導(dǎo)體或液晶面板廠房的天花板上大面積使用 FFU 來達到垂直單向流以外，在個別區(qū)域的機臺端還需要通過搭建微環(huán)境或機臺端安裝 EFU 的方式來嚴格管控機臺區(qū)域的潔凈度
隨著半導(dǎo)體芯片關(guān)鍵線寬尺寸縮減，從早期的微米 (μm) 級別發(fā)展到現(xiàn)今的納米 (nm) 級別，芯片制造對潔凈度的要求越來越高。如果生產(chǎn)過程中空氣潔凈程度達不到要求，產(chǎn)品良率會受到很大影響。集成電路產(chǎn)業(yè)鏈幾乎所有的主要環(huán)節(jié)，從單晶硅片制造、到 IC 制造及封裝，都需要在潔凈室中完成，且對于潔凈度的要求非常高。為了維持潔凈室的潔凈度，半導(dǎo)體潔凈廠房通常采用垂直單向流的方式，通過推出作用將室內(nèi)污染的空氣排至室外，從而達到凈化室內(nèi)空氣的目的。
來東凈化作為國內(nèi)芯片和液晶面板廠家的潔凈室的供應(yīng)商，為這些行業(yè)提供符合潔凈要求、高效率、低耗能、低噪音的空氣凈化產(chǎn)品。除了在半導(dǎo)體或液晶面板廠房的天花板上大面積使用 FFU 來達到垂直單向流以外，在個別區(qū)域的機臺端還需要通過搭建微環(huán)境或機臺端安裝 EFU 的方式來嚴格管控機臺區(qū)域的潔凈度，以滿足機臺設(shè)備更加嚴格的控制標準。另外，隨著制程工藝的不斷改進迭代，單靠控制顆粒物已無法再提高良率，氣態(tài)分子污染物 AMC(Airborne Molecular Contamination)的控制技術(shù)已經(jīng)成為半導(dǎo)體良率提升的必要手段。
凈化方案一：
組合式空氣處理機組 + 冷水機組 + 高效送風(fēng)口這是一個最傳統(tǒng)的凈化空調(diào)系統(tǒng)的設(shè)計方案。組合式空氣處理機組里含有各種功能段，如混合段、初效過濾段、表冷段、二次回風(fēng)段 ( 或中間段 )、加熱段、加濕段、中效過濾段、風(fēng)機段等。其冷源由冷水機組提供。
方案特點：
A. 空氣處理效果好，因空氣經(jīng)過集中處理，在送風(fēng)過程中被污染程度較低。送風(fēng)的溫度、濕度的控制比較精確 ;
B. 比較適用于有集中冷源的或是較大的廠房 ;
C. 空調(diào)冷熱源可與廠房普通空調(diào)系統(tǒng)合用或獨立冷熱源 ;
D. 維修頻率較低 ;
E. 車間的噪音低。
凈化方案二：
水冷柜機 + 增壓風(fēng)柜 + 高效送風(fēng)口與前種方案比較，這是相對比較簡單的空調(diào)方案。它可以大大地縮小機房的面積，水冷柜機可以根據(jù)具體的情況布置于較小機房內(nèi)或凈化車間內(nèi)，增壓風(fēng)柜也可以布置于機房內(nèi)或吊在機房內(nèi)或在夾層內(nèi)。
方案特點：
A. 空氣處理效果較好的，處理過后的空氣在送風(fēng)過程中被污染程度低。送風(fēng)的溫度、濕度控制效果可以達到較好的控制。主要在空氣處理機組 ( 增壓風(fēng)柜 ) 里進行控制 ;
B. 布置靈活。自帶冷源 ;
C. 大小廠房、新舊廠房都適用 ;
D. 維修頻率較低 ;
E. 車間噪音低。
凈化方案三：
分體空調(diào)柜機 +FFU 送風(fēng)口這是最簡易的一個空調(diào)方案。是直接將分體空調(diào)柜機布置于車間內(nèi)，并用彩鋼圍護起來，在柜機回風(fēng)口處再在彩鋼板上開回風(fēng)口( 帶初效過濾網(wǎng) );KLC 風(fēng)機過濾單元 FFU 均勻布置于吊頂天花。這個方案適用于對室內(nèi)溫濕度精度要求不高的無塵車間。
方案特點：
A. 不需要占用機房面積，布置很靈活的 ;
B. 可以滿足空氣的潔凈度 ;
C. 造價最低 ;
D. 送風(fēng)均勻度好。
1、凈化廠房墻、頂板材一般多采用 50mm 厚的夾芯彩鋼板制造，其特點為美觀、剛性強。圓弧墻角、門、窗框等一般采用專用氧化鋁型材制造。
2、地面可采用環(huán)氧自流坪地坪或高級耐磨塑料地板，有防靜電要求的，可選用防靜電型。
3、送回風(fēng)管道用熱渡鋅板制成，貼凈化保溫效果好的橡塑保溫材料。
4、高效送風(fēng)口用不銹鋼框架，美觀清潔，沖孔網(wǎng)板用烤漆鋁板，不生銹不粘塵，宜清潔。
