市場上比較常見的無塵車間潔凈度級別有百級、千級、萬級、十萬級、三十萬級。百級、千級、萬級定義是單位立方英尺空氣中含有的直徑不小于0.5μm的塵埃粒子個數分別不大于100個、1000個、10000個。百級、千級、萬級無塵車間的最主要的區別，就在于空氣中各粒徑檔最大容許粒子濃度不一樣。
1. 百級無塵車間0.5微米的最大容許粒子濃度小于3520（pc/m3)，5微米的最大容許粒子濃度小于293(pc/m3)。
2. 千級無塵車間0.5微米的最大容許粒子濃度小于35200(pc/m3)，5微米的最大容許粒子濃度小于2930(pc/m3)。
3. 萬級無塵車間0.5微米的最大容許粒子濃度小于352000(pc/m3),5微米的最大容許粒子濃度小于29300(pc/m3)。
也就是說百千萬是只灰塵數量，自然的級別數值越小，等級越高。百級無塵車間已經是凈化級別里邊凈化指數很高，各項技術很高的凈化空間。
二、無塵車間設計裝修工作原理：
采用垂直單向流的氣流形式,送風先要通過初效過濾器進行預過濾,將氣流中的大顆粒粉塵粒子處理掉。經過預處理后的空氣，再經過高效過濾器進行二次過濾，以起到充分保護高效過濾器的作用。在離心風機提供的壓力下，通過高效過濾器，使之達到潔凈要求。所有氣流均經過高效過濾器處理，所以送風，排風均不帶殘余粉塵，避免了二次污染。由于在工作區域形成穩定的單向流，起到保護外部環境的作用。
三、百級無塵車間設計裝修標準
按照國際上的慣例，無塵車間設計裝修的潔凈級別主要是根據每立方米的空氣當中粒子的直徑大于標準的數量來規定的。也就是把微粒控制在一個非常小的單位上，在常規當中就是說符合微粒的顆粒在我們常見的灰塵當中是小的微乎其微，而對于那些生產上來說，哪怕一點點的，很少很少的灰塵也會產生很壞的負面影響的。國際上百級無塵車間設計裝修的標準的A級就是每立方米將小于0.5微米粒徑的微塵數量控制在3500個以下。
當前，在芯片生產加工上的無塵標準的要求就是要高于A級的，像這樣的高的要求標準主要是被應用在在一些等級較高芯片生產上，而業內稱之為的1K級別的就是微塵數量被嚴格控制在每立方米1000個以內。
四、百級凈化車間設計參數
1. 溫度：22℃±2；濕度：55%±5；基本需要滿布FFU，做高架地板。做MAU+FFU+DC系統。還有保持正壓，相鄰房間壓力梯度保證在10pa左右。
2. 百級無塵車間若非得用換氣次數來衡量的話200次/h以上，百級無塵車間若是以層流風速來說的話>0.35 m/s，
3. 百級無塵車間若以HEPA高效空氣過濾器對吊頂覆蓋率的話>50%。
五、百級無塵車間設計裝修后的人員進出規范
百級無塵車間設計裝修進入過濾器無塵車間人員必須穿著無塵服與無塵鞋，并嚴格按以下順序進入過濾器無塵車間：
1、戴上無塵帽(頭發不可露出)。
2、戴上無塵口罩。
3、穿著無塵衣(拉上拉鏈后，扣好頸部頭罩)。
4、穿上無塵鞋。
5、戴上手套(衣袖口須包住手套口)。
6、著裝完成照鏡檢查服裝儀容。
7、進入風淋室。
8、進入ZC風淋室雙門互鎖后自動吹淋，聽從風淋室語音提示，擺動身體，吹凈時間15秒。
9、在過濾器無塵車間設計裝修后，動作宜輕緩、以免影響層流及生產大量微塵。
10、工廠稽查小組對過濾器無塵車間潔凈紀律，每日不定期稽查并記錄分配各班組改善。
1. 百級無塵車間0.5微米的最大容許粒子濃度小于3520（pc/m3)，5微米的最大容許粒子濃度小于293(pc/m3)。
2. 千級無塵車間0.5微米的最大容許粒子濃度小于35200(pc/m3)，5微米的最大容許粒子濃度小于2930(pc/m3)。
3. 萬級無塵車間0.5微米的最大容許粒子濃度小于352000(pc/m3),5微米的最大容許粒子濃度小于29300(pc/m3)。
也就是說百千萬是只灰塵數量，自然的級別數值越小，等級越高。百級無塵車間已經是凈化級別里邊凈化指數很高，各項技術很高的凈化空間。
二、無塵車間設計裝修工作原理：
采用垂直單向流的氣流形式,送風先要通過初效過濾器進行預過濾,將氣流中的大顆粒粉塵粒子處理掉。經過預處理后的空氣，再經過高效過濾器進行二次過濾，以起到充分保護高效過濾器的作用。在離心風機提供的壓力下，通過高效過濾器，使之達到潔凈要求。所有氣流均經過高效過濾器處理，所以送風，排風均不帶殘余粉塵，避免了二次污染。由于在工作區域形成穩定的單向流，起到保護外部環境的作用。
三、百級無塵車間設計裝修標準
按照國際上的慣例，無塵車間設計裝修的潔凈級別主要是根據每立方米的空氣當中粒子的直徑大于標準的數量來規定的。也就是把微粒控制在一個非常小的單位上，在常規當中就是說符合微粒的顆粒在我們常見的灰塵當中是小的微乎其微，而對于那些生產上來說，哪怕一點點的，很少很少的灰塵也會產生很壞的負面影響的。國際上百級無塵車間設計裝修的標準的A級就是每立方米將小于0.5微米粒徑的微塵數量控制在3500個以下。
當前，在芯片生產加工上的無塵標準的要求就是要高于A級的，像這樣的高的要求標準主要是被應用在在一些等級較高芯片生產上，而業內稱之為的1K級別的就是微塵數量被嚴格控制在每立方米1000個以內。
四、百級凈化車間設計參數
1. 溫度：22℃±2；濕度：55%±5；基本需要滿布FFU，做高架地板。做MAU+FFU+DC系統。還有保持正壓，相鄰房間壓力梯度保證在10pa左右。
2. 百級無塵車間若非得用換氣次數來衡量的話200次/h以上，百級無塵車間若是以層流風速來說的話>0.35 m/s，
3. 百級無塵車間若以HEPA高效空氣過濾器對吊頂覆蓋率的話>50%。
五、百級無塵車間設計裝修后的人員進出規范
百級無塵車間設計裝修進入過濾器無塵車間人員必須穿著無塵服與無塵鞋，并嚴格按以下順序進入過濾器無塵車間：
1、戴上無塵帽(頭發不可露出)。
2、戴上無塵口罩。
3、穿著無塵衣(拉上拉鏈后，扣好頸部頭罩)。
4、穿上無塵鞋。
5、戴上手套(衣袖口須包住手套口)。
6、著裝完成照鏡檢查服裝儀容。
7、進入風淋室。
8、進入ZC風淋室雙門互鎖后自動吹淋，聽從風淋室語音提示，擺動身體，吹凈時間15秒。
9、在過濾器無塵車間設計裝修后，動作宜輕緩、以免影響層流及生產大量微塵。
10、工廠稽查小組對過濾器無塵車間潔凈紀律，每日不定期稽查并記錄分配各班組改善。
